超维科技纪元 第86节

“没问题。”

海思的六个人跟着工作人员去更换工作服。

而中芯国际也很快挑选出十个人,高致远带着他们也去更换工作服。

然后就是除尘、除静电等等,最后他们才进入陈列着神光1X射线光刻机的检测室内。

第六十九章 巨额订单

检测室内,神光1X射线光刻机正在运转着,一群工作人员依旧在孜孜不倦的测试和调整。

作为中芯国际的首席技术执行,官李伟光技术水平还可以,他两眼放光盯着眼前的庞然大物,这是多么美妙的工业之花。

李伟光心想,希望这台光刻机是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。

高致远指着光刻机介绍道:“大家眼前的这台光刻机,就是我们神光仪器研发神光1X射线光刻机,具体技术指标,想必大家已经有所了解了。”

李伟光、赵军等人当然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1X射线光刻机的技术指标,他们半路上已经研究过。

“高总,贵方的光刻机精度真的可以达到10~7纳米”李伟光急促的问道。

“我知道大家非常怀疑,一旁有八寸硅片,中芯国际应该有带技术员过来吧”

李伟光点了点头。

高致远指着一侧的库房继续说道:“你们可以派人拿着硅片,和我们的员工一起进行光刻测试。”

“那我们就恭敬不如从命了。”李伟光转过头向中芯国际的人吩咐道:“张工、李工,麻烦你们了。”

俩中年技术员麻利动手,他们借助工具小心翼翼的将硅片取出。

这些硅片不仅仅价格昂贵,而且非常脆弱,别说摔地上了,哪怕是空气最好也别直接接触,因为沾染上灰尘会非常麻烦。

将两片硅片送入专门的清洁设备之中,然后涂抹光刻胶,将光刻胶摊平到一定的厚度,晾干硅片表面的光刻胶。

其中的工序非常繁杂,也不能有一丝失误,这不仅仅考验机器设备,也考验技术员的水平。

要是其中一个环节出现失误,不仅白忙活了半天,硅片、光刻胶、清洁液这些耗材就白白浪费了,这些都是真金白银。

怪不得说科研就是在烧钱。

一个多小时过去,终于到了硅片光刻的步骤,一块八寸硅片被光刻机的自动化设备送入其中。

为了避免影响光刻效果,李工通过一个小窗口的透镜观察了硅片一会,便将小窗口关闭,让光刻室形成一个暗箱。

张工则在电脑上面挑选着一些掩模模板(电路图母板),随便挑选了其中一个模板,输入尺寸调整。

因为不同的芯片电路图,需要的面积不一样,因此一块硅片可以刻出多少颗芯片,是要根据实际情况来调整的。

工作人员们都是用简单的手势来交流着,在这种高精密的设备周围,哪怕是说话大声一点,都可能影响到光刻结果。

光刻开始。

大约16秒左右,被光刻完成的硅片便出现另一侧的出口。

然后又快速加工了第二块硅片,同样是16秒左右出来。

在检测室外面的赵军、李伟光、方龙等人,都紧紧盯着那两块光刻完成的硅片。

张工和李工用特制的设备,一人负责一块硅片,转移到隔壁的电镜检测室里面。

电子显微镜下,硅片上的电路图纹路和模板一模一样,唯一区别就是尺寸。

“竟然真的可以做到7纳米,不可思议。”李工看着电子显微镜惊叹道。

“不仅仅如此,X射线光刻出来的纹路非常整齐细腻,真是一个杰作。”张工补充道。

俩人对于两块硅片进行了非常全面的检测,最后生成两份检测报告。

在外面干着急的李伟光,看到俩人走出来,迫不及待的上前问道:“结果如何”

中芯国际和海思众人紧张又期待的看着俩人,希望是好消息,而不是坏消息。

“李总,神光1X射线光刻机的精度确实达到了10~7纳米,甚至比阿斯麦的极紫外光效果更加好。”张工解释道。

呼!众人长出一口气。

李工将两份检测报告递给李伟光:“这是具体检测报告。”

中芯国际的众人连忙传阅起来。

看完详细的检测报告之后,赵军和李伟光呼吸都重了起来,这个神光1X射线光刻机比阿斯麦的顶级光刻机还更强一丝。

至少目前阿斯麦公司的顶级光刻机,在面对7纳米芯片时显得有些力不从心,而神光1X射线光刻机却游刃有余。

如果他们知道黄明哲故意限制精度,就会明白为什么会游刃有余了。

“高总,我以一个华国芯片人的身份,向你们致敬。”李伟光激动不已的说道。

作为一个华国芯片人,他们活得太憋屈了,国内外的种种压力,几乎让压得他们喘不过气了。

而神光1X射线光刻机的出现,让李伟光等人感到了扬眉吐气,终于不需要忍受那些鸟人的冷嘲热讽。

“我们不敢居功,其实这台光刻机可以诞生,社长要占90%的功劳。”高致远说得一点都不夸张。

X射线光刻机的方向是黄明哲选择的,两个关键性材料来源于光敏材料规律模型,全套软件系统和黄明哲息息相关。

另外还有思维社掌握的仿真空间技术、有限元逆分析技术,促进了神光仪器公司在整合和改进方面的实力。

尽管中芯国际和海思众人都感到非常意外,但是在场的神光仪器研究员或者员工,都一脸认同高致远的话,这种事情赵军他们没有打破沙锅问到底的想法。

“高总,不知神光1X射线光刻机的售价是多少”赵军连忙问道。

“15亿一台。”

咕噜!赵军尽管已经有预料到神光1X射线光刻机的价格会非常高,没有想到竟然高到15亿。

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